Fabriksimulation in der Halbleiterfertigungslinie von Infineon in Dresden

Wolfgang School. Fabriksimulation in der Halbleiterfertigungslinie von Infineon in Dresden. In Thomas Schulze, Bernhard Preim, Heidrun Schumann, editors, Simulation und Visualisierung 2007 (SimVis 2007), 8-9 März 2007, Magdeburg. pages 413-420, SCS Publishing House e.V., 2007. [doi]

Abstract

Abstract is missing.