Beiträge zur Regelung des VGF-Kristallzüchtungsprozesses

Stefan Ecklebe, Nicole Gehring, Frank Woittennek, Jan Winkler. Beiträge zur Regelung des VGF-Kristallzüchtungsprozesses. Automatisierungstechnik, 71(3):232-242, March 2023. [doi]

Abstract

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