Ein wissensbasiertes Diagnosesystem in der Halbleiterfertigung

Gabriele Schmiedel, Klaus Winkelmann. Ein wissensbasiertes Diagnosesystem in der Halbleiterfertigung. KI, 3(3):60-63, 1989.

@article{SchmiedelW89,
  title = {Ein wissensbasiertes Diagnosesystem in der Halbleiterfertigung},
  author = {Gabriele Schmiedel and Klaus Winkelmann},
  year = {1989},
  researchr = {https://researchr.org/publication/SchmiedelW89},
  cites = {0},
  citedby = {0},
  journal = {KI},
  volume = {3},
  number = {3},
  pages = {60-63},
}