Simulationsbasierte Fertigungssteuerung in der Halbleiterindustrie unter Einbeziehung von Interaktionsverfahren

Matthias Thiel, Roland Schulz. Simulationsbasierte Fertigungssteuerung in der Halbleiterindustrie unter Einbeziehung von Interaktionsverfahren. In Thomas Schulze, Peter Lorenz, Volkmar Hinz, editors, Simulation und Visualisierung 2000 (SimVis 2000), 23-24 März 2000, Magdeburg. pages 277-290, SCS Publishing House e.V., 2000.

Abstract

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