Entwicklung und Realisierung von Steuersoftware für Rasterelektronenmikroskope in Hinblick auf deren Anwendung in Testverfahren der Mikroelektronik

Stanislav Simeonov. Entwicklung und Realisierung von Steuersoftware für Rasterelektronenmikroskope in Hinblick auf deren Anwendung in Testverfahren der Mikroelektronik. PhD thesis, Chemnitz University of Technology, Germany, 1994. [doi]

Abstract

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