Entwurf und Regelung eines Positioniersystems für robotergestützte Nanomesstechnik

Markus Thier, Rudolf Saathof, Ernst Csencsics, Reinhard Hainisch, Andreas Sinn, Georg Schitter. Entwurf und Regelung eines Positioniersystems für robotergestützte Nanomesstechnik. Automatisierungstechnik, 63(9):727-738, 2015. [doi]

Abstract

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